方式

DP模式、圆柱形腔体

性能

发生器功率：

0-200W

0-300W

发生器频率：

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式：

自动匹配（Auto matching)

手动匹配（manul）

构成

腔体材质：

高硼硅玻璃

腔体内尺寸：

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反应气体：

一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式：

半自动控制

真空度显示：

数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。

模拟式压力表

配管材质：

SUS不锈钢以及特氟龙

门：

                                            铰链门

外形尺寸：

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速：

4m3/hour

电源规格：

                                        AC220V  10A

重量：

  约25kg

   约34kg

附属品

真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。