方式

圆柱形腔体

性能

发生器功率：

0-50W

发生器频率：

60Khz

输出电压：

10KV

构成

腔体材质：

石英

腔体内尺寸：

φ100×L200mm

反应气体：

一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式：

半自动控制

真空度显示：

数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。

配管材质：

SUS不锈钢以及特氟龙

门：

                                            铰链门带观察窗

外形尺寸：

W310×D300×H448mm

真空泵抽速：

4m3/hour

电源规格：

                                          AC100V  10A

重量：

                                           约25kg

附属品

真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。