产地:美国; 品牌:MVSystems
用于制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备 MVS
Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells
Throughput: >475 wafers/hr
SiNx uniformity: < ?5%
产率:>475硅片/小时。
氮化硅膜不均匀性:< 5%。
热丝CVD设备HWCVD MVS
PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备 MVS
在线式HIT用PECVD MVS
R&D Cluster tools 研发用团簇