产地:美国; 品牌:MVSystems
热丝CVD设备HWCVD MVS
PECVD MVS
卷对卷柔性薄膜沉积设备 MVS
瞬渺镀膜机 SiNx-PECVD
R&D Cluster tools 研发用团簇
在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
产率:18片6吋硅片/循环