一、URE-2000/35紫外掩膜光刻机产品特征：

URE-2000/35采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除 曝光间隙，采用 350W 进口(德国)直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程 度很高，操作十分方便。非常适合工厂(效率高，操作傻瓜型，自动化程度高)和高校教学科研 (可靠性好，演示方便)。

二、URE-2000/35紫外掩膜光刻机技术参数：

（1）曝光面积：4英寸

（2）曝光波长：365nm

（3）分辨力：0.8μm

（4）对准精度：±0. 8μm

（5）掩模样片整体运动范围：X：15mm; Y：15mm

（6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；

（7）样片尺寸：直径φ10mm-- φ100mm(各种不规则片)；

（8）样片厚度：0.1mm--5mm(可扩展为15mm)；

（9）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量；

（10）具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

（11）照明不均匀性： 3%（φ100mm 范围）

（12）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

（13）调平接触压力通过传感器保证重复；

（14）数字设定对准间隙和曝光间隙；

（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口；

（16）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  θ：±6º

（17）最大胶厚：400μm（SU8胶，用户提供检测条件）

（18）光源平行性：3.5 º

（19）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

（20） 单层曝光一键完成；

（21）采用球气浮自动找平；

（22）汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）；

（23）外形尺寸：1200mm（长）×900mm(宽)×1750mm（高）；

三、配置

（1）曝光头

①冷光椭球镜

②350W进口直流高压汞灯(进口)

③XYZ汞灯调节台

④冷却风扇

⑥光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

①掩模样片整体运动台

②掩模样片相对运动台

③转动台

④样片调平机构,自动完成

⑤基片抽拉式上下机构

⑥样片调焦机构，电机自动调

⑦承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用户要求增减）

⑧掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

①光源（配备品2只）、 电源

②双目双视场对准显微镜主体

③目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

④物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

⑤CCD对准系统，21寸液晶显示器

（4）电控系统

①汞灯触发电源(350W直流汞灯)

②单片机控制系统

③控制柜桌

（5）气动系统

①气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

②电磁阀驱动

③气动仪表

（6）其他附件

①真空泵一台

② 空压机一台

③管道

（7）技术资料

①使用维修说明书

②显微镜使用说明书