反射式膜厚量测仪的产品特点
完美对应紫外到近红外(190~1600nm)广波长范围。
利用高分辨率传感器,可对应厚膜以及超厚膜样品类型:0.8~1mm
利用非线性*小二乘法薄膜解析软件,可解析多层薄膜的膜厚,光学常数(n:折射率,k:消光系数)等薄膜特性。
利用背面反射补正,对应透明基板
可测量微小光斑(*小3μm)的分光光谱
可对应大型样品
光学系图
式样
样品尺寸 | 200mm*200mm*7mm(厚度) |
测量膜厚范围 | 1nm-1mm |
测量波长范围 | 190nm~1600nm |
可测量层膜数 | *大50层 |
传感器 | 电子冷却型光电二极管配列
电子冷却型CCDarea image sensor |
测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n:折射率k:消光系数)
绝对反射率
测量实例