· 膜厚测量中必要的功能集中于头部

· 通过显微分光高精度测量绝对反射率（多层膜厚、光学常数）

· 1点只需不到1秒的高速tact

· 实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）

· 通过区域传感器控制的安全构造

· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能

· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数

· 各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）

· 绝对反射率测量

· 膜厚解析

· 光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）

构成图

半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications

※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。

＊ 膜厚范围是SiO2换算。