描述：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

主要特点：
· 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
· SIMS 成像，分辨率在微米以下
· 光栅控制，增强深度分析能力
· 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
· 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
· 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
· Penning规和互锁装置可提供过压保护
· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

技术参数：

·质量数范围：   300amu，500amu，1000amu

·检测器：         离子计数探测器、正负离子探测器、10⁷ cps

·质量过滤器：   3F四级杆

·杆直径：         9mm

·最高加热：      250℃

·离子源：         电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝

应用：
   · 静态 /动态SIMS
   · 一般目的的表面分析
   · 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS
   · 兼容的离子枪/ FAB 枪
   · 成分/污染物分析
   · 深度分析
   · 泄漏检测
   · 与Hiden SIMS 工作站兼容