分辨率: 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV）
放大倍数: 25 到 1,000,000x
加速电压: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA（15 kV时）
光阑角控制镜: 内置
探测器: 上方和下方探测器
能量过滤器: 新型γ过滤器
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840
样品交换室: 单步加载/卸载
样品台: 全对中，5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
倾斜: -5 到 +70°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm
真空系统: 2 SIPs，磁悬浮轴承 TMP、RP
节能设计: 正常运行：1.2 kVA 休眠模式：1 kVA
操作系统关闭（OFF）：0.76 kVA