仪器简介:
JSM-6610A/ JSM-6610LA分析型扫描电子显微镜,与日本电子公司的元素分析仪(EDS)组合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制,操作员只用一只鼠标,就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。
技术参数:
放大倍数: 5-300,000倍
解 析 度: 高真空:3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
电 子 枪: 全自动,亦可手动调整
样 品 台: 大全对中型X=125mm,Y=100mm,Z=5到80mm,倾斜:-10 - +90度,旋转:360度
灯 丝: 工厂预对中灯丝(钨)
图像模式: 二次电子像,成份像,拓扑像,阴影像
加速电压: 0.3-30KV
聚 光 镜: 可变焦聚光镜
物 镜: 超级锥形物镜
物镜光阑: 3