JSM-6701F为场发射扫描电子显微镜(FESEM)，采用冷阴极场发射枪、超高真空和精密的数字技术，可进行显微结构的高分辨率、高质量成像。本系统装配锥形场发射枪和semi-in-lens物镜，可以在任何扫描速度下进行高分辨率的成像以及高质量的实时图像显示，使您即使在明亮的房间里也可观察和记录清晰的图像。JSM-6701F可以处理直径zei大为8英寸的样品。
JSM-6701F是高级智能计算机扫描电子显微镜，保证了与未来计算机技术的兼容性。它独一无二的图形用户界面可以控制条件设置、样品台马达驱动、成像和数据存档，确保操作稳定可靠。系统的主计算机采用了高级网络技术的Window® 2000，可在zei佳条件下方便于从成像到数据处理的整个过程，使操作人员可以显示实时图像、通过网络将数据保存到外接电脑、检索和管理数据。
分辨率: 2.2 nm（1 kV），1 nm（15 kV）
放大倍数: 100 到 650,000x
加速电压: 0.5kv 到 30 kV
束流: 10-13A～2×10-9A
样品室：200mm大型样品室
光阑角控制镜: 内置
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 1024
样品台: XYZ三轴，5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm（Ⅰ）、110mm x 80mm（Ⅱ）、z：3-41mm
倾斜: -5 到 +60°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm