结构、成分和工艺决定了材料的性能表现。随着现代电子显微分析技术的发展，特别是大面积能谱和CMOS-EBSD系统商业化的巨大成功，纳米尺度下材料的成分、结构分析已不再是TEM的特权。近日，东莞理工学院王皓亮老师团队通过牛津仪器新一代光纤耦合CMOS-EBSD探测器Symmetry S2，在SEM下轻松表征了Ti22Nb合金中的纳米析出相，TKD空间分辨率达到5 nm。

专为TKD分析的样品座，TKD即透射菊池花样演示分析（Transmission Kikuchi Diffraction）技术，是最新用于检测仅十几纳米尺度的EBSD分析方法，空间分辨率比传统技术提高一个数量级。该样品座方便用户将超轻薄样品放 置于SEM中并符合光学原理的衍射花样，保证获得更加准确的信号量。

TKD分析仍使用原有EBSD软硬件，只是样品更薄且经过电解抛光穿孔。由于衍射信号来自样品下侧几个或几十个纳米厚度的区域，该技术也被称为透射 EBSD（T-EBSD）。样品薄区的衍射范围较小，样品与探测器及极靴的几何位置是否理想是获得有效信号的必要条件之一。因此设计专门的样品座做TKD 分析就显得尤关重要。

TKD样品座是专为超薄样品设计，易于固定且符合光学原理。置于SEM中，即可使用AZtec EBSD系统轻松方便的实现高分辨的EBSD分析。