产品描述
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了zui大的产出效率，并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性，甚至能完全满足具有zui严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本，系统的易维护性减少了停工期。对于系统的维护、工艺故障的排除，我们为客户提供专业的售后服务Picosupport™。根据用户的需求，确保每时每（24/7/365）快速提供全面的解决方案。在购买之前，我们提供做样服务，确保系统具有zui好的性能，完全满足您的需求。
技术指标
衬底尺寸和类型 | 50 – 200 mm /单片 |
156 mm x 156 mm 太阳能硅片 | |
150 mm x 150 mm 显示面板 | |
工艺温度 | 50 - 500 °C , 可选更高温度 |
基片传送选件 | 气动升降（手动装载） |
半自动装载，用PICOPLATFORM™200集群系统实现 | |
25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系统实现 | |
标准 | SEMI S2 认证（认证中） |
前驱体 | 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体（zui多4路气体）： |
前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 | |
6根独立源管线，zui多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线） | |
重量 | 790 kg |
尺寸 (W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
可选件 | 集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器，尾气处理器，定制设计，与 工厂软件连接服务。 |
验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺， |
其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如： | |
--不均匀性 | |
--颗粒物含量 | |
--重金属污染 | |
--电学性能 |
