型号:GS
品牌:
产地:
原子层沉积(ALD)ForgeNanoTHEIA
石墨烯CVD
电弧等离子体沉积系统
应用:
-硅太阳能电池表面钝化(Surface Passivation)
-生产用(量产型)
特点:
-过程保证
-高产出:>1600 wph
>3200 wph
-易于维护
-前躯体源价格经济
-集成化过程模组
-Cassette to Cassette 操作
-气体管路集成化(专利技术)
-。。。。。。。。。。。
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