主要性能介绍
*单一探头的多功能平台结构，集成扫描隧道、原子力、摩擦力和静电力显微镜功能，工作模式包括接触、半接触、非接触等方式
*独特的探针类型和扫描器的编码—解码智能识别技术，全数字控制的参数设置和采集
*数字控制反馈回路16-bit分辨的A／D和D／A
采用单一的外触发时基和高速缓存。实现多通道信号的
高速同步采集
*采用基于TCP／IP协议的高速通信接口，实现双处理器—双操作系统的协同工作和大容量高速数据交换，使系统具有极大的开放性
*系统内部预留多个可供输,N／输出信号的处理通道，具有方便的扩展能力
系统外部预留标准开放接口，满足用户对仪器进行二次开发的需求
*具有电流—电压(I-V)曲线和力曲线等测量分析功能
*系统集成纳米加工功能，根据加载的位图可直接对表面进行纳米加工，具有机械刻蚀、电致／场致刻蚀、浸润笔印刷(Dip-Pen Nano-lithography，DPN)等多种纳米加工模式
*样品粒度和粗糙自动分析功能
性能指标
横向分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．13nm(STM模式，以石墨定标)
0．26nm(AFM模式，以云母定标)
垂直分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．01nm(STM)
0．1nm(AFM)
电流检测灵敏度：≤80pA
力检测灵敏度： ≤1nN
空间定位精度： ≤0．5nm
预留输出信号通道数：6ch(1ch±200V，5ch±10V；16-bit DAC)
预留输入信号通道数：16ch(100kHz采样率，16—bit ADC，带可控低通滤波器和可控增益放大器)