ALD应用举例:
纳米电子学
高k栅极氧化物
存储电容器绝缘层-铜连线间的高纵横比扩散势垒区
有机发光二极管和聚合物的无针孔钝化层
钝化晶体硅太阳能电池
应用于微流体和MEMS的高保形涂层
纳米孔结构的涂层
生物微机电系统
燃料电池
直观性强的的软件提高性能
使用与牛津仪器的值得信赖的Plasmalab ®产品家族相同的软件平台, OpAL的程序驱动、多用户级别、PC2000TM控制的软件易于操作且可为快速ALD做相应修改。
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