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产品型号：NLD-4000 (ICPA) 
品牌：那诺-马斯特
产品产地：美国
产品类型：进口
原制造商：那诺-马斯特
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称：NLD-4000 (ICPA) 
上市时间：
2011年
优点： 原子层沉积技术 NLD-4000（ICPA）全自动PEALD系统概述：原子层沉积是一项沉积薄膜的重要技术，具有广泛的应用。ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积，这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响，所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性，可以提供卓越的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。
参考成交价格：
100~200万元[人民币] 查中标价
85