【技术特点】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统

NLD-4000（ICPA）全自动PEALD系统选配：NLD-4000（ICPA）系统的选配项包含臭氧发生器，等等。

NLD-4000（ICPA）全自动PEALD系统应用：

• Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3，etc

• Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

• Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS应用.

• Nano laminates纳米复合材料

【技术特点对用户带来的好处】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统

【典型应用举例】-- NLD-4000 (ICPA) PEALD系统