双模式表面三维轮廓仪
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适应性强
· 白光光源,人体安全设计,长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室,甚至工业生产环境。
· 接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的完美结合
· 接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到150mm。
· 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
· 针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zei大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zei小0.1nm )
· 软件设置恒定微力接触(0.1 to 100 [mg])


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