【技术特点】-- 双模式三维轮廓仪、台阶仪

原子力显微镜

探针式轮廓测量能够进行材料在纳米尺度水平的测试。提供扫描范围70 x70um，探针更换简单。

? zei好的技术来实现Z和XY方向上的高分辨率

? X,Y和Z方向上纳米级的分辨率和精度。
? 线性XY压电陶瓷扫描

? 包括振动和不振动的模式

? 可选的侧向力和相位模成像

【技术特点对用户带来的好处】-- 双模式三维轮廓仪、台阶仪

【典型应用举例】-- 双模式三维轮廓仪、台阶仪