μscan激光共聚焦显微镜（光学轮廓仪）技术参数 
1. 测量原理：非接触，激光共聚焦 
2. 扫描模块： 
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可选）,马达驱动 
2.2 XY方向平台分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范围100mm 
2.4 zei大测量速度50mm/S. 
3. 传感器模块 
3.1 共聚焦传感器，激光光源1.5 μm spot size，1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，zei大范围达到200mmX200mm 
3.4 工作距离 4mm 
3.5 Z方向测量范围1mm 
4 系统配置 
4.1 计算机：高性能计算机控制系统； 
4.2 配有专业工作台， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，zei大视野8 x 6 mm2 
4.4 功能全面的软件 

4.5 数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析