NanoFocus表面三维形貌光学轮廓仪技术特点

【技术特点】-- NanoFocus表面三维形貌光学轮廓仪

μscan激光共聚焦显微镜 的详细介绍

产品介绍
μscan共聚焦显微镜（光学轮廓仪）材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。
CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。

μscan激光共聚焦显微镜应用
?集成电路封装和表面贴装：快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。
?厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量
?精密部件：测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等

【技术特点对用户带来的好处】-- NanoFocus表面三维形貌光学轮廓仪

【典型应用举例】-- NanoFocus表面三维形貌光学轮廓仪