测量范围

0-130nm

重复性

<1.0nm

像素数

1120x868

测量波长

520nm

尺寸

650x700x683mm

观测到的zei大面积

8英寸

自身重量

70kg

数据接口

千兆以太网（摄像机信号），RS-232C

电压电流

AC100-240V（50/60Hz）

软件

PA-View