TESCAN Xe等离子双束扫描电镜（FIB-SEM）参数指标

世界第一个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3，提供了超高离子束束流（zei高束流为2μA），其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料，FERA3型仪器是一个不错的选择。

新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了zei新的技术优势，例如：改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快，带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统，内置的编程软件等。

FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求，其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为优秀的分析工具。

现代电子光路

• 独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了许多工作与显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

• 全自动的电子光路设置与合轴

• 成像速度快

• 使用3维电子束技术可获取实时立体图像

• 三维导航

高性能离子光路

• 高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精确

维修简单

现在保持电镜处在优秀的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率zei大化，操作zei简化。

自动操作

电镜除了可以自动化设置外，还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

• 用户界面友好的操作系统基于Windows™平台，多用户和多语言操作界面

• 同时的FIB/SEM成像，易于操作

• 实时图像支持多窗口模式，可自定义实时图像参数

• 图像处理，报告生成，在线与离线图像处理

• 项目管理软件

• 内置的自动诊断（自检）

• TCP/IP远程控制，网络操作与远程进入/诊断

• 免费升级软件