TESCAN Xe等离子双束扫描电镜（FIB-SEM）技术特点

【技术特点】-- TESCAN Xe等离子双束扫描电镜（FIB-SEM）

TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统（GM）

分析潜力

• 高亮度肖特基发射可获得高分辨率、高电流和低噪声的图像

• 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

• 三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

• 成像速度快

• 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像 （选配）

• In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

• 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

• 完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

• 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵， 因而可以很快达到电镜的工作真空，电子枪的真空由离子泵维持

• 自动的电子光路设置和合轴

• 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

• 3维电子束技术提供实时立体图像

• 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa 用于观测不导电样品

• 独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

• 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

• 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

• 高束流下超高的铣削速度和卓越的性能

• FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

FERA3配置

FERA3 GMH

是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在高真空模式下工作。

FERA3 GMU

是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。

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软件（标配）：

测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEM^TM

选配：
根据实际配置和需求

配件：

• 二次电子探头

• 背散射电子探头

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• TOP-SIMS

• 二次离子探头等，各种配件可供选择

【技术特点对用户带来的好处】-- TESCAN Xe等离子双束扫描电镜（FIB-SEM）

【典型应用举例】-- TESCAN Xe等离子双束扫描电镜（FIB-SEM）