SUPRA™超高分辨率场发射扫描电子显微镜参数指标

分辨率
            SUPRA™ 40/40VP

1.3 nm @ 15 kV

2.1 nm @ 1 kV

5.0 nm @ 0.1 kV

2.0 nm @ 30 kV（VP模式）

分辨率
            SUPRA™ 55/55 VP 及 60/60 VP

1.0 nm @ 15 kV

1.7 nm @ 1 kV

4.0 nm @ 0.1 kV

2.0 nm @ 30 kV（VP模式）

加速电压

0.1 - 30 kV

束流

4 pA - 10 nA（可选配20 nA）

放大倍数

12 - 900,000x

电子枪

热场发射型

VP真空度

2 - 133 Pa

标准探测器

In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器

VP型号采用VPSE探测器

图象处理

7种积分和平均模式

系统控制

基于Windows®XP的SmartSEM™