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详询：北京燕京电子有限公司
| 技术指标 | EddyCus® TF lab-1 | EddyCus® TF lab-2 | |
| 传感器之间距离 | 10mm | up to 60 mm possible | |
|
厚度测量 范围 | 高导电率材料 (大于 10 MS/m) |
5 nm – 50 µm |
5 nm – 100 µm |
| 低导电率材料 (小于 10 MS/m) |
10 nm – 1 mm |
10 nm – 250 µm | |
| 面阻测量范围 | 0,01 – 1000 Ω/sq | ||
| 导电率范围 | 1– 67 MS/m | ||
|
薄膜厚度测量精度 |
± 10% from<20 nm ± 5% from 20-200 nm ± 2,5% from 200nm– 1 µm ± 1% from > 1 µm | ||
|
面电阻测量精度 (e.g. TCO) |
± 2,5% from 0,01 – 20 Ω/sq ± 5% from 20 – 100 Ω/sq ± 10% from 100 – 1000 Ω/sq | ||
| 传感器 |
可根据不同应用要求配置zei佳的传感器 | ||