应用领域:·薄膜面电阻的测量·薄膜厚度的测量·导电性基板厚度的测量·与电阻相关的其他参数的测量技术特点:·非接触式实时测量·可实现对几乎所有平面样品的测量·测量传感器与样品之间的距离及测量 点的大小可调·扫频范围可达256个频率点·薄膜厚度测量可精确至纳米量级·操作简单,软件功能丰富