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| 进气口法兰（ISO-KF） | DN40 | 排气口法兰（ISO-KF） | DN16 |
| 抽速速率（L/s） | N2：22 He：18 H2：11 Ar：25 | 压缩比 | N2: 1E6 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E6 |
| 极限压强（Pa） | 1E-4 | 最大连续前级压强（Pa） | 500 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：1000 | 最大气载量（sccm） | N2：23 He：18 H2：12 Ar：28 |
| 额定转速（RPM） | 36000 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 风冷 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | 70 | 适配电源型号 | TD-25/TCP-100/TC-100 |
| 建议前级泵（L/s） | 0.5～1 | 重量（kg） | 3 |
技术指标
进气口法兰（ISO-KF）：DN40
排气口法兰（ISO-KF）：DN16
抽速速率（L/s）：N2：22 He：18 H2：11 Ar：25
压缩比：N2: 1E6 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E6
极限压强（Pa）：1E-4
最大连续前级压强（Pa）：500
最大前级压强（Pa）：N2：1000
最大气载量（sccm）：N2：23 He：18 H2：12 Ar：28
额定转速（RPM）：36000
启动时间（min）：≤3
冷却方式：风冷
电源电压（V AC）：DC24/AC220
最大功率（W）：70
适配电源型号：TD-25/TCP-100/TC-100
建议前级泵（L/s）：0.5～1
重量（kg）：3
尺寸
