【技术特点】-- FF-40/25型仪器分子泵

FF-40/25型仪器分子泵

产品特点：

国内最小口径分子泵；

紧凑型结构设计，便于集成，可以实现24VDC供电后分子泵直接运行；

低功耗、低振动、节能；

更高前级耐压，适合分析仪器行业；

可任意角度安装

技术指标：

进气口法兰（ISO-KF）	DN40	排气口法兰（ISO-KF）	DN16
抽速速率（L/s）	N2：22 He：18 H2：11 Ar：25	压缩比	N2: 1E6 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E6
极限压强（Pa）	1E-4	最大连续前级压强（Pa）	500
最大前级压强（Pa）	N2：1000	最大气载量（sccm）	N2：23 He：18 H2：12 Ar：28
额定转速（RPM）	36000	启动时间（min）	≤3
冷却方式	风冷	电源电压（VAC）	DC24/AC220
最大功率（W）	70	适配电源型号	TD-25/TCP-100/TC-100
建议前级泵（L/s）	0.5～1	重量（kg）	3

应用领域：

硅刻蚀、玻璃镀膜、PVD镀膜、科研应用、表面分析、加速器、太阳能、热处理

科学研究、质谱分析、电子器件、检漏技术

技术指标

进气口法兰（ISO-KF）：DN40

排气口法兰（ISO-KF）：DN16

抽速速率（L/s）：N2：22 He：18 H2：11 Ar：25

压缩比：N2: 1E6 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E6

极限压强（Pa）：1E-4

最大连续前级压强（Pa）：500

最大前级压强（Pa）：N2：1000

最大气载量（sccm）：N2：23 He：18 H2：12 Ar：28

额定转速（RPM）：36000

启动时间（min）：≤3

冷却方式：风冷

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：70

适配电源型号：TD-25/TCP-100/TC-100

建议前级泵（L/s）：0.5～1

重量（kg）：3

尺寸

产品特性

【技术特点对用户带来的好处】-- FF-40/25型仪器分子泵

【典型应用举例】-- FF-40/25型仪器分子泵