● 工作腔室:165mm外径 x 127mm高
● 触摸屏全图像用户界面
● 靶材:标配直径57mm x 厚0.1mm Au靶
● 样品台:标配旋转台,直径60mm,转速8-20 rpm ,可选配旋转倾斜台。
● 真空系统:双程旋转机械泵
● 极限真空度:2 x 10-2mbar
● 溅射真空度: 3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间
● 溅射电流:0-80mA
● 溅射时间:zei长60分钟
● 碳蒸发:稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发,确保碳棒可重复蒸碳,电流脉冲1~90A。
● 尺寸和重量:仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)