【技术特点】-- EMS 150R 镀金镀碳仪

● 金属溅射或碳蒸发一体化设计，节省空间

● 适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用

● 涡轮分子泵高真空系统，适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材

● 全自动触摸屏控制，快速数据输入，操作简单

● 可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理想

● 预编程自动真空控制

● 使用膜厚监控选件精确控制膜厚

● 智能系统识别，自动感知用户所插入镀膜头的类型

● 高真空碳蒸镀，对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想

● 先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术，操作简单，重现性好

● Drop-in式快速换样品台（标配旋转台）

● 真空闭锁功能，让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态

● 不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟，适合材料科研应用

● 人体工程学设计，整体成型机壳，维护、拆装容易

【技术特点对用户带来的好处】-- EMS 150R 镀金镀碳仪

【典型应用举例】-- EMS 150R 镀金镀碳仪