1/ zei大样品尺寸：6英寸；

2/ 基底旋转：0~10rpm；

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；

5/ 靶枪：2英寸直径 (选配：3英寸)；

6/ 直流电源：2KW(800V - 2.5A)；

7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm；