优点: Q150R PLUS系列镀膜仪是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统,对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 – 尤其用于在SEM应用中提高成像质量。该系列有三种型号:Q150R S PLUS、Q150R E PLUS和Q150R ES PLUS,其中Q150R ES PLUS是一款集贵金属离子溅射和碳丝热蒸镀两种功能于一体的紧凑且易用的镀膜系统。适用于给样品镀制不氧化金属膜(即贵金属膜),标配一块金靶,也可选配金、银、铂、钯、金/钯合金及铂/钯合金等金属靶;以及为EDS样品镀制碳膜。(对于易氧化金属的溅射镀膜或需镀制TEM碳支持膜,请选购Q150T PLUS系列高真空镀膜仪)