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技术指标
| 三块标准光栅可选 | |
| 2105 gr/mm | 光谱范围: 9.5 – 32 nm 中心波长: 12nm |
| 450 gr/mm | 光谱范围: 10 – 110 nm 中心波长: 15nm |
| 290 gr/mm | 光谱范围: 15.5 – 170 nm 中心波长 : 35nm |
| 光学设计 | HJYzl超环面消像差光栅 |
| 焦长 | 300 mm |
| 孔径 | f/20 |
| 分辨率 | 低至0.04nm (*) |
| 波长驱动 | 固定 |
| 高真空 | 10-6 mbar |
| 真空泵法兰 | DN40 KF |
| Slits | 嵌入式 |
| 阵列探测器法兰 | DN100CF |
| 可选项： | |
| 狭缝 | 手控或自动 |
| 多光栅切换装置 | 光栅滑块可装载3块光栅，真空中灵活切换 |
| 超高真空 | 配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空 |
| (*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。 | |
参考成交价格：