TGS 300真空紫外光谱仪技术特点

【技术特点】-- TGS 300真空紫外光谱仪

TGS 300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场，配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口，可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。

技术特点

• 单片式光学结构确保光通量zei大化，高光学稳定性。

• HJYzl的超环面光栅技术，全光谱范围内优异的消像差能力。

• 超长的40mm光谱长度，横向滑动CCD测量更宽的光谱，纵向滑动CCD优化成像质量。

• 光谱覆盖zei低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。

• 支持超高真空度10^-9mbar，可接入同步辐射装置。

典型应用

• 极紫外和紫外等离子体光谱分析

• 紫外光源表征

• 激光高次谐波研究

• EUV光源表征

技术指标

三块标准光栅可选
2105 gr/mm	光谱范围: 9.5 – 32 nm 中心波长: 12nm
450 gr/mm	光谱范围: 10 – 110 nm 中心波长: 15nm
290 gr/mm	光谱范围: 15.5 – 170 nm 中心波长 : 35nm
光学设计	HJYzl超环面消像差光栅
焦长	300 mm
孔径	f/20
分辨率	低至0.04nm (*)
波长驱动	固定
高真空	10-6 mbar
真空泵法兰	DN40 KF
Slits	嵌入式
阵列探测器法兰	DN100CF
可选项：
狭缝	手控或自动
多光栅切换装置	光栅滑块可装载3块光栅，真空中灵活切换
超高真空	配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空
(*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。

附件

• 前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配

• 后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配

• 样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品

• 偏振插片

• 制冷机，zei低至4K

• 真空泵

【技术特点对用户带来的好处】-- TGS 300真空紫外光谱仪

【典型应用举例】-- TGS 300真空紫外光谱仪