FSM-360

用于晶格水平应变和材料成分测量的微拉曼系统。高光谱分辨率（0.02 cm-1）和亚微米级横向分辨率。通过硅通孔（TSV）的测量可防止区域，局部应力和成分分析。全自动 C2C 系统。

FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器，主要用与测量芯片应力。

利用微米直径光斑照射。

芯片会产生另外一个光束（Raman信号），Raman信号的频率有别于原来的光源。

从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。