【技术特点】-- 全自动紫外线芯片应力测量仪FSM360

FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器，主要用与测量芯片应力。

利用微米直径光斑照射。

芯片会产生另外一个光束（Raman信号），Raman信号的频率有别于原来的光源。

从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。

紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。

可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。

【技术特点对用户带来的好处】-- 全自动紫外线芯片应力测量仪FSM360

【典型应用举例】-- 全自动紫外线芯片应力测量仪FSM360