技术参数:
技术参数(机械部分):
1. XY扫描器:50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环)
2. Z扫描器:12µm (可选配25µm)
3. 水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm
4. XY和Z扫描器的正交性:1.0°
5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 样品尺寸:100mm×100mm
7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准
标准工作模式:
真正非接触模式(True non-contact mode)
接触模式(contact mode)
相位模式(phase imaging)
横向力模式(LFM)
扩展工作模式:
力测量(Force measurements)
导电(Conductive AFM)
电力(Electric Force)
电子 (Electrical)
磁性 (Magnetical)
机械 (Mechanical)
热 (Thermal)