主要特点:
一、 计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、 扫描器线形度高,直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器zei大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、 非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFMzei显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、 CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。