NX-2600纳米压印和高分辨率光刻系统

NANONEX 进口半导体专用检测仪器设备

产品型号：NX-2600

品牌：NANONEX

产品产地：美国

产品类型：进口

原制造商：NANONEX

状态：在售

厂商指导价格：. 50万元[美元]

英文名称：NX-2600

上市时间： 2016-01-06

优点： NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式：热固化、紫外固化和压印。基于独特zl保护的Nanonex气垫软压技术（ACP），不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NX-2600均可对其校正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期，最终得到快速的工艺循环。