•特征

 - 最大200mm晶圆尺寸/基板尺寸

-4个集成的SMIF索引器或4个开放式卡带站

-4轴双臂机器人用横臂搬运

 - 可选的冷却站和切口对准器

-2或4个处理室

-4种不同的处理室技术：

•下游微波（2.45 GHz）

•RF偏压（13.56 MHz）

•双源（微波，射频偏压）

•DCP（RF偏压，直接耦合等离子）

 - 优异的均匀性和可重复性

 - 机械吞吐量> 300wph

 - 紧凑的足迹

 - 非常低的拥有成本

 - 完全数字控制的Devicenet，以太网

 - 基于窗口的工业计算机