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| 溅射气体 | 溅射靶材 | 溅射电流 | 溅射速率 | 样品仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
| 根据实验目的可添加氩气，氮气等多种气体。 | 标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 | 最大电流 50mA,最大工作电流30mA | 优于40nm/min | 直径160mm，高120mm | 样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台 | 220V (可做110V), 50HZ |
需要镀膜的样品
| 电子束敏感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
主要包括生物样品，塑 料样品等。S EM中的电 子束具有较高能量，在 与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部 分能量传递给样品。如 果样品是对电子束敏感 的材料，那这种相互作 用会破坏部分甚至整个 样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材 料制备的表面镀层就 可以起到保护层的作用，防止此类损伤； | 由于样品不导电，其表 面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应，可在样 品表面镀一层金属导电 层，镀层作为一个导电 通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得更好的成像质量。 | 非导电材料实验电极制作观察导电特性 |