技术参数
共聚焦显微镜头
◆ 光源:LED
◆ 寿命(h):>50,000
◆ 采用步进电机时的测量范围(mm):50
◆ 采用压电执行器时的测量范围(μm):100 / 150
◆ 最高垂直分辨率(nm):30
◆ 最高横向分辨率(μm):3
◆ 工作距离(mm):50
◆ 选件:根据不同的原理配置不同的传感器:三坐标测量,共聚焦,自动聚焦,彩色聚焦;能减振的工作台;用户定制的工件夹具;空气轴承工作台。