【技术特点】-- 德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

用于非接触表面测量分析的三维光电测量系统。按客户要求可选配其它多种光学位移测量传感器，如：自聚焦传感器、白光干涉系统、共焦传感器、触针式传感器、三角测量传感器、色敏传感器。工作站基本配置为精密的大理石桥式测量台和X、Y移动工作台。测量数据的采集是通过BMTzl三维软件包完成的。数据采集速度快、表面轮廓复现度高。光斑轨迹小以及倾斜度大的轮廓，可以对宏观和微观结果进行量化。所有的测量轴都具有纳米分辨率，模块化设计使系统可用于不同的测量任务。软件系统界面直观，操作方便，可以选配电机驱动Z轴来扩大测量范围。

主要用途

◆ 任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）

◆ 用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业

◆ 其他表面的微观形貌测量

◆ 微型机械元件的尺寸测量

◆ 金相测量

◆ 微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算

主要特点

◆ 非接触测量表面轮廓、反射率、垂直和横向尺寸

◆ 测量范围：X、Y方向可达300mm、Z轴可达50mm

◆ 横向分辨率优于1μm，Z轴分辨率最高接近1mm（取决于传感器）

◆ 可用显微镜和照相机观察表面（选配）

◆ 二维/三维粗糙度测量分析、快速傅立叶变换、自相关函数并可测平面度、台阶高度、斜坡

◆ 采用宏汇编语言实现自动化测量

主要优势

◆ 快速分析表面结构且结构紧凑

◆ 自动数据采集和评估

◆ 用户搭配的测量系统

◆ 测量范围大

◆ 合理的价格

【技术特点对用户带来的好处】-- 德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

【典型应用举例】-- 德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）