【技术特点】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
技术参数
质量流量计 | 四个精密的质量流量计(精度0.02% ) :数字显示,自动控制.
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控温软件 | 计算机可以通过控温软件控制炉子:RS485 接口和软件是免费的,但需要购买数据线和一个控制模块 为了获得较大的升温速度, 必须预热到设定温度,然后将炉子滑到样品位置。 为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.
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总尺寸 | |
质保期和认证 | 一年质保期 (耗材部分:如炉管,“O”型高温密封圈,加热元件等不在保修范围) |
使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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【技术特点对用户带来的好处】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
【典型应用举例】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL