技术参数
炉体和预热腔体
主反应炉体炉管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）
最高工作温度为1100℃
一个小型预热炉体，安装在设备左端，用于反应前驱体预热
预热腔体为30mmOD×150mmL的不锈钢管
右端安装有一滑轨法兰，以便于放样和取样
在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰
左端法兰上有4个气体接口（1/8英寸）（点击图片查看详细资料）
返回 CVD管式炉（含预热腔... 
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