SDI金属污染及少数载流子寿命检测仪技术特点

【技术特点】-- SDI金属污染及少数载流子寿命检测仪

仪器简介：
SDI少数载流子寿命监测仪器已经被广泛应用于半导体的研究单位与制造企业。目前在世界范围内已经有超过400台的SDI设备在使用当中，其非接触的检测方式与高精度的检测数据已经在行业内得到广泛的承认。其检测结果快速图形输出的特性，可以使用户简单直观的获得整个晶片的少于载流子寿命及金属污染的数据信息。



主要特点：
高金属污染浓度分别率：1E8
可以对整个硅片进行扫描，给出整个硅片的少数载流子寿命与金属污染的具体数据并配合图形
硅片表面有无二氧化硅薄膜不会对测量造成影响
不同型号设备适用于研究院所与生产企业

【技术特点对用户带来的好处】-- SDI金属污染及少数载流子寿命检测仪

【典型应用举例】-- SDI金属污染及少数载流子寿命检测仪