磁控溅射系统NSC-4000...
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  • 基板支持加热(最高可达800°C)或冷却

  • 支持旋转GLAD斜角入射沉积

  • 腔体尺寸可定制

  • 1.5-5KW脉冲之流电源用于ITO/ZnO等类似材料




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