【技术特点】-- 磁控溅射系统NSC-4000 (M)

• 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

• 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

• 旋转样品台，提供高均匀性

• 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

• PC全自动控制，具有高度的可重复性

• Labview软件的计算机全自动工艺控制控

• 多级密码保护的授权访问设计

• EMO保护以及完全的安全联锁

【技术特点对用户带来的好处】-- 磁控溅射系统NSC-4000 (M)

【典型应用举例】-- 磁控溅射系统NSC-4000 (M)